雙面研磨機
YJ-16B5LC
產品介紹
雙面研磨機YJ-16B5LC
本機器主要用于碳化硅片、砷化鎵片、硅片、陶瓷片、石英晶體及其它半導體材料的雙面高精度研磨，也適用于其它金屬、非金屬、光學玻璃等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨。因此在電子、儀器儀表、光學材料等行業里有著廣泛的應用。
產品特點
-
01
機器采用四電機驅動，下盤、上盤、內齒圈和太陽輪分別由電機單獨驅動；
-
02
機器整體結構緊湊，運行平穩，有效地縮短各傳動軸的長度，增加機器的機械剛度；
-
03
電機采用變頻調速器控制，能在有效設置范圍內以任意速度工作、停止、加速、減速；
-
04
上盤裝置增加機械的安全裝置，在擺片、維修等狀態下不會因突然故障而下降，增加了安全性。
產品參數
-
上、下盤尺寸φ1125×φ393×50(mm)
-
游星輪數量5
-
工件厚度M=3 Z=142
-
工件直徑0.35~35mm
-
上盤轉速/下盤轉速5~45rpm/5~48rpm
-
太陽輪轉速/內齒圈轉速3~30rpm/3~24rpm
-
內齒圈、太陽輪抬升行程35mm
-
上盤壓力范圍≤ 500Kg
-
上、下盤電機7.5kw 1450rpm/7.5kw 1450rpm
-
太陽輪電機/內齒圈電機1.5kw 1450rpm/2.2kw 1450rpm
-
升降電機/砂泵電機400w/250w
-
電源/耗電量3相 380V／20KW
-
氣源/耗氣量0.5~0.6Mpa/20xN(L/H)(N為每小時循環工作次數)
-
上、下盤平面度≤0.03mm
-
下盤端跳/壓力控制精度≤0.02mm/≤±5Kg
-
外形尺寸2350×1660×2550 (mm)
-
機器重量~6000Kg
